Equip que permet la realització de mesures topogràfiques en tres dimensions, sense contacte, amb resolució nanomètrica.

La mida del camp de visió és de 8,45 mm (10,8 mm x8,1 mm). La resolució de l’equip en l’eix vertical és inferior a 0,01 nm i el rang de mesura vertical és de 0,1 nm fina a 10 mm.