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Perfilómetro de contacto / Medidor de perfiles de contacto
Marca: KLA Tencor
Modelo: Alpha step IQ

Equipo que permite localizar fácilment las características de medida, mediante la imagen del lugar que realiza a priori, así como el análisis de las alturas de paso fino, microrrugosidades de superficie y el error, de forma general, en los revestimientos de película fina. También destaca el rango vertical para la correcta detección de la topografía de grandes dimensiones, a partir de imágenes personalizadas y con gran reproducibilidad. Las dimensiones de medida son de hasta 10 mm en la dirección horizontal y hasta 400 mm en la dirección vertical. La resolución perfilométrica es de 0,1 nm.


La UPC ofrece la prestación de los servicios que se pueden realizar con este equipo.

Información y uso

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